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日本小坂KOSAKA | 微細(xì)形狀測定機ET4000系列概述
臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax…），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動探索樣品表面
日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細(xì)形狀測定機ET4000系列特點
★ 高精度．安定性．機能性卓yue適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機型。
★ 是多機能的全自動微細(xì)形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
★ ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機。
★ ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細(xì)形狀測定機。
★ ET4300一適合12″樣品測量。
